POPRIÉTÉS DIÉLECTRQUES DE POLYMÈRES COMPOSITES ET LEURS APPLICATIONS EN MICROÉLECTRONIQUE
No Thumbnail Available
Date
2009
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Les matériaux polymères composites sont largement utilisés en microélectronique
pour les boîtiers et supports de circuits intégrés. Ces composites sont généralement constitués
d’une matrice polymère thermodurcissable chargée en particules inorganiques. Le polymère
utilisé est très souvent de l’époxy, choisi en raison de sa bonne tenu thermomécanique. La
nature des charges dépend de l’application envisagée.
Pour satisfaire les demandes toujours croissantes de la miniaturisation, réduction des
coûts et fiabilité améliorée dans l’industrie microélectronique, de nouvelles applications sont
envisagées pour ces matériaux composites, comme l’intégration de condensateurs directement
dans le boîtier du circuit, on cherche, dans ce cas, un matériau à forte constante diélectrique,
donc en principe une charge avec une forte permittivité. Des études ont démarré sur ces
composites pour des applications à plus long terme.
Ce travail se concentre sur l’étude des propriétés diélectriques d’un nouveau matériau
nanocomposite époxy / argent pour les applications dans les condensateurs intégrés.
La méthodologies de cette étude est de combiner les avantages de la matrice polymère
(époxy) et de la charge conductrice du nanopoudre d’argent (de permittivité très élevée) pour
satisfaire les exigences électriques, diélectriques, mécaniques, de fabrications et de fiabilité
pour les condensateurs intégrés.
Dans ce contexte deux séries d’échantillons ont été préparées et étudiées :
Echantillons d’époxy seul avec lesquelles on a étudié l’effet de hautes températures
sur les propriétés diélectriques, comme résultats on a trouvé que les condensateurs de
structure Or/époxy/Or peuvent supporter des pics de températures (jusqu'à 400°C pendant
quelques minutes) sans dégradation de leurs propriétés diélectriques.
Echantillons à matériaux composites époxy/nanopoudre d’argent, pour ces derniers les
propriétés diélectriques en courant continu et en courant alternatif ont été étudiées, une valeur
très grande de la constante diélectrique (>100) a été obtenue, mais seulement dans les basses
fréquences (ce qui limite leur utilisation aux applications quasi statique ou en C.C).