Elaboration et caractérisation de mono et multicouches à base d'oxydes métalliques par procédé plasma pour l'optoélectronique et la photonique
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Date
2023
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L'objectif de ce travail de recherche consiste à préparer à température ambiante, par pulvérisation magnétron RF confocale, des films minces de ZnO et des structures multicouches d'AZO/Cu/AZO et d'étudier ensuite les effets de l'épaisseur de dépôt, de la nature du substrat et du recuit sur leurs propriétés physiqueset leurs performances respectives comme matériaux luminescent et TCO.