Etude des propriétés acoustiques du germanium amorphe, cristallin et microcristallin
No Thumbnail Available
Date
2007
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Dans ce travail, nous nous sommes intéressés à l'étude des propriétés élastiques du germanium sous
différentes formes structurales: amorphe (a-Ge), cristallin (c-Ge) et microcristallin (µc-Ge). Pour le
germanium amorphe obtenus par différentes méthodes de préparation (HWCVD, évaporation et
pulvérisation), les vitesses ainsi que les angles critiques d’excitations des ondes longitudinale
transversal et de Rayleigh ont été déterminées. Ensuite, nous avons étudié l’effet de l’épaisseur de
la couche de a-Ge déposée sur le Si<100>, les courbes de dispersion des différentes structures sont
de type négatif. Pour le c-Ge, les effets de l’anisotropie sur les vitesses acoustiques, les angles
critiques d’excitations de différents modes ont été mis en évidence. Pour le µc-Ge, aussi bien la
période spatiale et la vitesse de Rayleigh que les angles ont été quantifiés. De plus nous avons
complété ce travail par l’investigation de l’influence de l’épaisseur de la couche du c-Ge et µc-Ge
déposée sur la silice et le silicium qui a montré une nette diminution de la période spatiale des
signatures acoustiques (elle est de l’ordre de 19.34 % pour la structure Ge<100>/SiO2). Ainsi, les
vitesses subissent une dispersion de type négatif, présentant une décroissance de la valeur de la
vitesse à partir de celle du substrat jusqu’à celle de la couche pour les épaisseurs, critiques, élevées.
Au-delà de ces épaisseurs ont atteint une saturation des courbes à partir de laquelle on peut
déterminer les vitesses de Rayleigh, pour chaque orientation cristallographique du Ge, ainsi pour
chaque forme structurale de germanium.